Informácie o titule

Základy technologie výroby polovodičů

Autor: Pánek, Petr

Žáner: Vedy technické - Elektronika

Jazyk: Český

Rok: 2016

Popis:

Petr Pánek, Milan Líbezný, Michal Lorenc, Jan Šik, Lukáš Válek, Tomáš Plachký, Jan Ulrych, Zdeněk Špetík, Radim Špetík, Štěpán Holík, Martin Dorotík
Učební text pro interní vzdělávání a k přednáškám pro studenty vysokých škol.

Přednášky pokrývají vybrané problémy z technologie výroby křemíku pro polovodiče a polovodičových prvků. Ve výkladu jsou předpokládány znalosti ze základního kurzu fyziky a základu fyziky polovodičů.
Ve dvou úvodních kapitolách je podán stručný přehled technologie výroby křemíkových desek a polovodičových prvků. V dalších kapitolách je podrobněji popsána problematika vybraných technologických kroků nebo aspektů technologie výroby. Hlavním cílem kurzu je poskytnout studentům příklady toho, jak jsou zvoleny technologické parametry nebo provedena konstrukce strojů na základě fyzikálního a chemického popisu dějů v nich probíhajících. Poslední kapitola je věnována využití statistických metod pro řízení procesů a pro návrh a vyhodnocení experimentů.