Informácie o titule

Fyzikální principy technologie výroby polovodičů

Autor: Pánek, Petr

Žáner: Vedy technické - Elektronika

Jazyk: Český

Rok: 2013

Popis:

Petr Pánek, Lukáš Válek, Michal Lorenc, Jan Šik

Sborník přednášek „Fyzikální principy technologie výroby polovodičů“ je určen především studentům odborné fyziky a fyzikálního inženýrství jako studijní materiál ke stejnojmenné přednášce na přírodovědecké fakultě Masarykovy univerzity v Brně. Přednášky pokrývají vybrané problémy z technologie výroby křemíku pro polovodiče a polovodičových prvků.
Přednáška vyžaduje znalosti ze základního kurzu fyziky a základy z fyziky polovodičů.
Ve dvou kapitolách sborníku je podán základní přehled o technologii výroby křemíkových desek a polovodičových prvků. V dalších kapitolách je podrobněji popsána problematika vybraných technologických kroků. Sborník si neklade za cíl podat ucelený přehled o technologii, ale na vybraných problémech ukázat využití fyziky v průmyslu. Hlavním cílem kurzu je poskytnout studentům příklady toho, jak jsou zvoleny technologické parametry nebo provedena konstrukce strojů na základě fyzikálního popisu dějů v nich probíhajících. Část přednášky je věnována praktickému využití statistických metod pro řízení procesů a pro návrh a vyhodnocení experimentů.
Přednáška je vedena odborníky z firmy ON Semiconductor Czech Republic, která se zabývá výrobou polovodičů. Sborník vznikl především jako pracovní materiál pro přednášku, neboť velká část předávaných informací je původních nebo úzce specializovaných, které lze jen obtížně vyhledat v literatuře.